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IPCMini——全新單通道離子泵控制器
體積小巧，功能強大，1/4”rack，1.9kg，3.5英寸觸摸屏操作；可以控制安捷倫0.2-500l/s的離子泵，并且兼容其它主流品牌；全新的IStep模式，低
壓力下更容易啟動；高電流分辨率，可在低壓范圍內(nèi)讀數(shù)更精準(zhǔn)；I/Oresponse <10ms，可與閥門連鎖；可設(shè)置斷電恢復(fù)后自動開啟；可通過USB接口升級軟件和記錄數(shù)據(jù)

各種抽速范圍的離子泵
— 微型泵抽速范圍從 0.2 到 10 l/sec
— 中小型泵抽速范圍從 20 到 75 l/sec
— 大型產(chǎn)品抽速范圍從150 到1000 l/sec
— 鈦升華復(fù)合型離子泵
— 其他滿足用戶定制需要的特殊型號

高真空處理工藝
安捷倫真空采用了嚴(yán)格的高真空處理工藝來確保離子泵的卓越品質(zhì)：
— 離子泵泵體及所有內(nèi)部材料均經(jīng)過嚴(yán)格的超高真空環(huán)境下 450oC高溫除氣
— 每臺離子泵出廠前均經(jīng)過 RGA 分析，并在真空密封條件下封裝出廠

根據(jù)用戶特殊要求設(shè)計定制
根據(jù)用戶需求可提供定制設(shè)計的泵體結(jié)構(gòu)：
— 低溫筒和鈦升華泵可選擇側(cè)向或底部安裝
— 定制復(fù)合吸氣劑 (NEG) 模塊的離子泵
— 集成加熱烘烤裝置
— 擴(kuò)展接口

烘烤加熱裝置
— 可選配相應(yīng)的烘烤加熱裝置，以更妥善地烘烤泵體
— 簡化操作過程

高壓電源線
— 新型的高壓電源線具有“高壓安全互鎖”功能，以避免潛在的放電風(fēng)險
— 當(dāng)電源線從泵體斷開時自動切斷高壓輸出
— 可根據(jù)用戶需要定制相應(yīng)長度
— 可靠，靈活的金屬套裝線纜
— 耐受輻射能力 107 Gy

離子泵選型表

• 集成電路
• 芯片
• 晶圓片