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科研及工業(yè)應用中的真空測量
“可靠、準確、高效”，安捷倫真空規(guī)管和真空計控制器可在廣泛領域內(nèi)完成對真空系統(tǒng)的測量和控制。安捷倫真空測量技術(shù)，為復雜的工業(yè)應用環(huán)境而生。簡約的設計、簡便的操作，將保證您真空系統(tǒng)或真空工藝的省時、高效。逾 50 年的科研領域經(jīng)驗中，我們的儀器超級準確、穩(wěn)定的特性，完全符合科研院所的要求。同時，通過STARRS Calibration 和支持系統(tǒng)，安捷倫為您提供準確測量。

XGS-600 真空計控制器
XGS-600 真空計控制器可以同時或獨立操作多達 12 個真空計并顯示多達 8 個真空計的讀數(shù)。標準功能包括 8 個設定點和 8 個觸點繼電器。所有設置都存儲在閃存中，因此無需在斷電后花時間進行重新設置。
XGS-600 真空計控制器可以操作對流真空計 (CONV)、熱燈絲真空計 (HFIG)、冷陰極真空計/反磁控真空計 (IMG) 和所有安捷倫主動式真空計 (AN)。XGS-600 控制器內(nèi)多可安裝 6 個真空計控制電路板，這些電路板可以采用任意組合，以滿足您的應用要求。

特點
簡潔的用戶界面
直觀的屏顯功能
容量、靈活性、可擴展性
采用標準半機架的緊湊設計
一次允許操作 1–12 個真空計，同時顯示多達 8 個真空計的讀數(shù)
實驗室應用、加速器、同步加速器、OEM 設備及其他大型設備的理想選擇
能夠在現(xiàn)場進行擴展和重新配置
可對每個真空計進行模擬量輸出
提供串行接口，所有數(shù)據(jù)保存在無需使用電池的非易失性存儲器中

AGC-100/AGD-100 控制器
AGC-100 是與 FRG-7xx、PVG-5xx、PCG-75x 和 CDG-500 系列主動式真空計兼容的單通道控制器，可以自動識別所連接的主動式真空計。該真空計控制器具有 USB 和以太網(wǎng)端口。AGD-100 是用于 FRG-700/702、PVG-5xx 和 PCG-75x 系列主動式真空計的單通道顯示選件。
兩種型號都具有用戶可選的測量單位（mbar、Torr 和 Pa）以及可調(diào)節(jié)的設定點控制。兩種型號都可以顯示幾乎所有同類產(chǎn)品的皮拉尼和冷陰極真空計的讀數(shù)。

特點
自動識別安捷倫主動式真空計，簡化設置
與用戶所選的壓力單位（mbar、Torr 和 Pa）通用兼容
利用壓力讀數(shù)進行重要操作
AGC-100 具有 USB 和以太網(wǎng)接口選件
與幾乎所有同類產(chǎn)品的皮拉尼、冷陰極、熱陰極和電容薄膜真空計兼容

XGS-600真空計控制器性能指標

響應時間	10 ms
安裝架尺寸	2U 1/2 Rack
操作環(huán)境溫度	-5 to +40 °C
標準和認證	EN 61010，EN 61326-3-2 2006，EN6100-3-2 2005，EN61326：1997/A1：1998/A2：符合 2001/A3:2003、EN55011、FCC Part 15 subpart J、CSA1010、RoHS 標準，WEEE
模擬輸出	0-10 VDC
設定點	Eight channels
碼頭環(huán)境溫度	-15 至 +70 °C
輸入電壓	100-240 Vac
通訊接口	RS232                    RS 485

AGC-100/AGD-100控制器性能指標

操作環(huán)境溫度	+5 to +50 °C
測量范圍	1.3 x 10-3 至 1067 mbar，1 x 10-3 至 800 Torr
碼頭環(huán)境溫度	-20 至 +60 °C
輸入電壓	100-240 Vac

• 集成電路
• 芯片
• 晶圓片