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單級(jí)和雙級(jí)油封旋片泵適用于多種應(yīng)用

單級(jí)和雙級(jí)旋片泵可提供多種抽速和配置。此類泵是渦輪分子泵或擴(kuò)散泵的理想前級(jí)泵，也可單獨(dú)用于實(shí)驗(yàn)室、分析或工業(yè)應(yīng)用中。
DS 系列油封旋片真空泵型號(hào)可提供 45 - 605 L/min (1.6 - 21.4 cfm) 的抽速和 < 2 x 10E-03 mbar 的極限壓力。DS 系列泵的運(yùn)行噪音水平很低。MS 系列的大容量單級(jí)油潤滑旋片泵是具有類似抽速的大型工業(yè)泵的理想替代選擇，它具備緊湊且綠色環(huán)保的優(yōu)點(diǎn)。靈活的 MS 系列泵采用穩(wěn)定可靠的組件，在低壓下具有較高的抽速，噪音低且易于安裝。

DS 102 旋片泵
DS 102 是一種雙級(jí)油封旋片泵，在 50 hz 下抽速可達(dá) 5.0 m3/h，在 60 hz 下抽速可達(dá) 3.5 CFM，并可實(shí)現(xiàn)< 2 x 10-3 mbar 的極限壓力。DS 102 采用配備集成式電源開關(guān)的通用電壓單相電機(jī)。
集成到泵中的抽氣口隔離閥可在泵的電源中斷時(shí)關(guān)閉抽氣口。該防返油閥可保持前級(jí)泵內(nèi)的真空度，并防止泵油污染真空室。DS 102 配備手動(dòng)氣鎮(zhèn)閥，當(dāng)其打開時(shí)，可使泵達(dá)到額定的水蒸汽處理規(guī)格。

特征
-雙級(jí)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)低至 10-3 mbar 的工作壓力和低操作溫度，并盡可能減少了低壓下的返油現(xiàn)象，同時(shí)在 10-2 mbar 的低壓范圍內(nèi)具有良好的抽氣速率和氣鎮(zhèn)效果
-在全球范圍內(nèi)提供單相或三相電機(jī)，適用于所有電壓和頻率?？奢p松選擇操作電壓，提供了更大的靈活性，有利于規(guī)劃和減少庫存
-防返油閥和放空裝置在泵停止運(yùn)行或閑置時(shí)將其隔離，同時(shí)可以防止在泵關(guān)閉或斷電故障時(shí)真空系統(tǒng)的不當(dāng)放空和泵油污染
-插座型 IEC320 允許使用標(biāo)準(zhǔn)電源線，無需打開盒蓋板為電機(jī)接線
-氣鎮(zhèn)閥打開時(shí)，向泵的第二級(jí)注入干燥的空氣，此操作將使模塊升溫，從而有助于排氣并清除泵油產(chǎn)生的水蒸汽或其他可冷凝氣體

MS40+ 旋片泵
MS40+ 是 LC/MS 和 ICP-MS 儀器的理想前級(jí)泵。MS40+ 單級(jí)油封旋片泵以小巧體積提供高抽速 (40 m3/h)。這款泵配備擁有可更換排氣口過濾器元件的集成式排氣/泵油過濾系統(tǒng)。這使得該泵適用于高氣體通量工作條件，可實(shí)現(xiàn) < 5-2 mbar 的極限壓力。
安捷倫提供的 MS40+ 泵有多種轉(zhuǎn)速可供選擇，范圍從 1200 rpm 到 1620 rpm。查看每個(gè)型號(hào)的貨號(hào)，了解相應(yīng)的規(guī)格。

特征
-高抽氣量，體積小巧
-變頻驅(qū)動(dòng)電機(jī)可調(diào)節(jié)抽速和壓力，并降低功耗
-在 10-2 mbar 壓力范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)高壓穩(wěn)定性
-提供 AVF Gold 和 Platinum 泵油
-提供不同轉(zhuǎn)速的泵型號(hào)

MS-101 旋片泵
Agilent MS-101 是一款大容量單級(jí)油潤滑旋片泵。MS-101 采用油循環(huán)系統(tǒng)、防止系統(tǒng)污染的防返油閥，以及可延長泵使用壽命的碳纖維復(fù)合材料葉片。MS-101 憑借低振動(dòng)性能和風(fēng)冷系統(tǒng)，成為具有類似抽速但噪音和振動(dòng)大、使用維護(hù)成本高的大型工業(yè)泵的替代選擇，具備功能強(qiáng)大、緊湊且綠色環(huán)保的優(yōu)點(diǎn)。
我們的 MS-101 泵非常可靠，通常與擴(kuò)散 HV 泵配合用于各種工業(yè)應(yīng)用，包括冶金、熱處理、真空鍍膜、電子束焊接、氦氣檢漏和液化天然氣 (LNG) 運(yùn)輸?shù)取?br />
特征
-行業(yè)好的真空性能，可實(shí)現(xiàn) 8 x 10-2 mbar (6 x 10-2 torr) 的極限壓力
-高度穩(wěn)定，可滿足嚴(yán)格的應(yīng)用要求
-鋼質(zhì)轉(zhuǎn)子以及特殊設(shè)計(jì)的碳纖維葉片可延長泵的使用壽命，氣鎮(zhèn)閥使其可用于高水蒸汽含量的應(yīng)用
-與具有相同抽速的泵相比，該泵設(shè)計(jì)緊湊且易于安裝
-采用高效的泵油循環(huán)系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)高度可靠的性能
-將內(nèi)置的除霧器系統(tǒng)與用于泵油回收的浮動(dòng)閥集成，綠色環(huán)保

IDP-3 渦旋式干泵規(guī)格

噪音水平	55 dB(A)
寬度	5.5 in
尺寸（寬 x 高 x 長）	5.5 in x 7.13 in x 14.09 in
抽速 (50 Hz)	3 m3/h 50 L/min 1.8 CFM
抽速 (60 Hz)	3.6 m3/h 60 L/min 2.1 CFM
排氣口連接	? inch female NPT (10 mm hose barb provided)
操作環(huán)境溫度	5 °C 至 40 °C 41 °F 至 104 °F
大進(jìn)氣口壓力	1.0 atm (0 psig)
極限壓力 (50 Hz) — Torr 和 mbar	3.3 x 10–1 mbar 2.5 x 10–1 Torr
極限壓力 (60 Hz) — Torr 和 mbar	3.3 x 10–1 mbar 2.5 x 10–1 Torr
運(yùn)輸重量	10.5 kg 23 lbs
進(jìn)樣口連接	NW16
重量（只有泵時(shí)）	9.5 kg 21 lbs
長度	14.09 in
高度	7.13 in

TriScroll 600 變頻泵

噪音水平	55–68 dB(A)
寬度	10.8 in
尺寸（寬 x 高 x 長）	10.8 in x 14 in x 18.35 in
抽速 (50 Hz)	全速下為 30 m3/h 全速下為 500 L/min 全速下為 17.7 CFM
抽速 (60 Hz)	全速下為 30 m3/h 500 L/min 全速下為 17.7 CFM
排氣口連接	NW25
操作環(huán)境溫度	5 °C 至 40 °C 41 °F 至 104 °F
大進(jìn)氣口壓力	1.0 atm (0 psig)
極限壓力 (50 Hz) — Torr 和 mbar	9.3 x 10–3 mbar 7 x 10–3 Torr
極限壓力 (60 Hz) — Torr 和 mbar	9.3 x 10–3 mbar 7 x 10–3 Torr
輸入電壓	200–240 V，1?，50/60 Hz
運(yùn)輸重量	39 kg 85 lbs
進(jìn)樣口連接	NW40
重量（只有泵時(shí)）	31 kg 68 lbs
長度	18.35 in
高度	14 in

• 集成電路
• 芯片
• 晶圓片