產品簡介
PSM-LN2系列液氮高低溫探針臺能夠為半導體芯片的電學參數(shù)測試提供一個80K-800K高低溫真空測試環(huán)境，通過外接不同的電學測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測，用于低溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學測試。
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產品中心
液氮高低溫探針臺 PSM-LN2系列
產品概述
Avantgarde 液氮高低溫探針臺在科學研究和技術開發(fā)中發(fā)揮著至關重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對樣品進行各種非破壞性的物理性能和電學性能測試，幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學性能，從而為新材料的研發(fā)和應用提供重要的數(shù)據(jù)支持。
PSM-LN2系列液氮高低溫探針臺能夠為半導體芯片的電學參數(shù)測試提供一個80K-800K高低溫真空測試環(huán)境，通過外接不同的電學測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測，用于低溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電測試。
特點
? 液氮高低溫真空探針臺，15分鐘內腔體真空度可達到 10E-4torr，液氮消耗量小,降到最低溫度只需0.2L液氮，使用方便快捷同時兼顧經濟性。
? 探針臂的位移調節(jié)在真空腔外操作，可以在不破壞真空 的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。
? 獨特的探針臂 X-Y-Z-R四維調節(jié)，能滿足最大4英寸樣品的測試。
? 真空腔材質為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測試的精準度和穩(wěn)定性
? 探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，實測漏電流小于100fA @1V@80K--800K
? 測試溫度范圍寬，最大支持80K-800K連續(xù)變溫。
? 獨特設計的柔性探針，將探針安裝到銅制彈片上，避免扎針過程中力量過大導致樣品或電極損壞
? 上蓋采用翻蓋結構，換樣更便捷。
技術參數(shù)
參數(shù)和指標：
| 探針臺主機分類 | ||||
| 型號 | PSM-LN2-2 | PSM-LN2-2H | PSM-LN2-4 | PSM-LN2-4H |
| 溫度范圍 | 80K--500K | 80K--800K | 80K--500K | 80K--800K |
| 控溫穩(wěn)定性 | +/-50mK | +/-100mk | +/-50mK | +/-100mk |
| 樣品座 | ||||
| 類型及材料 | 無氧銅接地鍍金樣品座 | 無氧銅接地樣品座 | 無氧銅接地樣品座 | 無氧銅接地樣品座 |
| 尺寸 | 2寸 | 2寸 | 4寸 | 4寸 |
| 可選規(guī)格 | 絕緣樣品座 （最高溫度只能到400K） 同軸樣品座 （最高溫度只能到400K） 三同軸樣品座（最高溫度只能到400K） | |||
| 探針臂 | ||||
| 類型 | 直流探針臂 | |||
| 數(shù)量 | 4 | |||
| 接頭及電纜 | 三同軸接頭+極細同軸低溫電纜 | |||
| 漏電流 | 100fA@1V 真空環(huán)境中 | |||
| 信號頻率 | DC--50MHz | |||
| 匹配阻抗 | 50歐姆 | |||
| 位移范圍 | Z +/-6.5m R+/-10° X+/- 50mm,Y+/- 12.5m | X+/- 35mm,Y+/- 12.5m Z +/-6.5m R+/-10° | ||
| 光學系統(tǒng) | ||||
| 顯微鏡放大倍數(shù) | 10--180倍 | |||
| 分辨率 | 3微米 | |||
| 視場 | 最大22mm | |||
| 工作距離 | 90--100mm | |||
| 真空腔 | ||||
| 材料 | 鋁合金 | |||
| 腔體容積 | 4L | 5.5L | ||
| 整體尺寸 | 800*800*600 | 900*900*600 | ||
| 腔體內徑 | 124mm | 155mm | ||
| 視窗尺寸 | 50mm | 100mm | ||
| 真空腔體窗口 | 紅外吸收窗口 | |||
| 防輻射屏窗口 | N/A | 標準石英窗口 | N/A | 標準石英窗口 |
| 真空度 | 5*10E-4 torr | |||
| 預留接口 | 2個探針臂接口&2個電學接口 | |||
| 防輻射屏材料 | N/A | 不銹鋼 | N/A | 不銹鋼 |
| 液氮腔體 | ||||
| 液氮容量 | 0.5L | |||
| 冷卻時間 | 60分鐘到80K | 80分鐘到80K | ||
| 液氮消耗量 | 0.2L從室溫到80K | 0.3L從室溫到80K | ||
| 液氮保持時間 | 4小時@80K | 3小時@80K | ||
| 專用振動隔離桌 | ||||
| 尺寸 | 800*800*800 | 900*900*800 | ||
| 桌推 | 固定腳&滾輪 | |||
應用領域
-
集成電路 -
芯片 -
晶圓片
