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產(chǎn)品中心

永磁鐵低溫探針臺(tái)PSM-PM系列

永磁鐵低溫探針臺(tái)PSM-PM系列

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

PSM-PM系列永磁鐵低溫探針臺(tái)是一款專門(mén)針對(duì)低溫垂直磁場(chǎng)電測(cè)環(huán)境開(kāi)發(fā)的探針臺(tái)，提供0.5T垂直磁場(chǎng)，能夠?qū)?寸、4寸、晶圓片進(jìn)行重復(fù)性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)，外接不同的測(cè)試設(shè)備可以完成對(duì)器件的電學(xué)特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、DC測(cè)量、RF測(cè)量和霍爾測(cè)量。永磁鐵低溫探針臺(tái)PSM-PM系列，具體參數(shù)請(qǐng)咨詢客服！

產(chǎn)品概述

隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)于精密微小（納米級(jí)）的微電子器件，要去測(cè)試它在低溫環(huán)境或者變溫環(huán)境下的的電學(xué)性能（如電流、電壓、阻抗等）時(shí)，配有顯微鏡的低溫探針臺(tái)能夠提供良好的低溫電測(cè)環(huán)境。


永磁鐵低溫探針臺(tái)在科學(xué)研究和技術(shù)開(kāi)發(fā)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它能夠在低溫環(huán)境下對(duì)樣品進(jìn)行各種非破壞性的物理性能和電學(xué)性能測(cè)試，幫助研究人員深入了解材料或者器件的各種物理性能和電學(xué)性能，從而為新材料的研發(fā)和應(yīng)用提供重要的數(shù)據(jù)支持。
PSM-PM系列永磁鐵低溫探針臺(tái)是一款專門(mén)針對(duì)低溫垂直磁場(chǎng)電測(cè)環(huán)境開(kāi)發(fā)的探針臺(tái)，提供0.5T垂直磁場(chǎng)，能夠?qū)?寸、4寸、晶圓片進(jìn)行重復(fù)性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)，外接不同的測(cè)試設(shè)備可以完成對(duì)器件的電學(xué)特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、DC測(cè)量、RF測(cè)量和霍爾測(cè)量。

技術(shù)參數(shù)

參數(shù)和指標(biāo)：

探針臺(tái)主機(jī)分類
型號(hào)PSM-PM-2PSM-PM-2H
溫度范圍 
80K--500K
80K--800K
控溫穩(wěn)定性
+/-50mK
+/-100mk
樣品座
類型及材料無(wú)氧銅接地鍍金樣品座
無(wú)氧銅接地樣品座
尺寸2寸2寸
可選規(guī)格
絕緣樣品座 （溫度只能到400K）
同軸樣品座 （溫度只能到400K）
三同軸樣品座（溫度只能到400K）
探針臂
類型直流探針臂
數(shù)量4
接頭及電纜
三同軸接頭+極細(xì)同軸低溫電纜
漏電流100fA@1V 真空環(huán)境中
信號(hào)頻率
 DC--50MHz
匹配阻抗 
50歐姆
位移范圍
Z +/-6.5mm R+/-10°
X+/- 50mm,Y+/- 12.5mm 
光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡放大倍數(shù)
 10--180倍
分辨率
3微米
視場(chǎng) 
22mm
工作距離
 90--100mm
真空腔
材料鋁合金
腔體容積
 4L
整體尺寸
800*800*600
腔體內(nèi)徑
 124mm
視窗尺寸
 0mm
真空腔體窗口
紅外吸收窗口
防輻射屏窗口 
N/A                    標(biāo)準(zhǔn)石英窗口
真空度
 5*10E-4 torr
預(yù)留接口
2個(gè)探針臂接口&2個(gè)電學(xué)接口
防輻射屏材料
                                   N/A                          不銹鋼
液氮腔體
液氮容量
 0.5L
冷卻時(shí)間
60分鐘到80K
液氮消耗量
0.2L從室溫到80K
液氮保持時(shí)間
 4小時(shí)@80K
滑臺(tái)
X-Y移動(dòng)行程2/4寸:X-Y軸±50mm
讀數(shù)精度10μm
永磁鐵組件
磁場(chǎng)大小0.5T
磁鐵間距30mm
磁鐵極面尺寸50mm
專用振動(dòng)隔離桌
尺寸
 800*800*800
 900*900*800
桌推
 固定腳&滾輪

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 集成電路
  • 芯片
  • 晶圓片

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