產(chǎn)品簡介
PSV系列室溫真空探針臺是一款專門針對室溫真空電測環(huán)境開發(fā)的探針臺，能夠?qū)?寸、4寸晶圓片進行重復(fù)非破壞性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實驗，外接不同的測試設(shè)備可以完成對器件的電學(xué)特性測量、參數(shù)測量、DC測量和RF測量。
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產(chǎn)品中心
室溫真空探針臺PSV系列
產(chǎn)品概述
Avantgarde 室溫真空探針臺能夠為半導(dǎo)體芯片的電學(xué)參數(shù)測試提供一個室溫真空測試環(huán)境，通過外接不同的電學(xué)測量儀器，可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及IV曲線等參數(shù)檢測，用于室溫真空環(huán)境下的芯片、晶圓和器件的非破壞性電學(xué)測試。
PSV系列室溫真空探針臺是一款專門針對室溫真空電測環(huán)境開發(fā)的探針臺，能夠?qū)?寸、4寸晶圓片進行重復(fù)非破壞性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實驗，外接不同的測試設(shè)備可以完成對器件的電學(xué)特性測量、參數(shù)測量、DC測量和RF測量。
特點
? 真空腔極限真空度能夠達到5E-4 mbar，通過真空泵連接KF25法蘭抽真空。
? 樣品座可以放置最大4英寸的晶圓樣品，探針臂的位移調(diào)節(jié)在真空腔外操作，可以在不破壞真空的情況下，切換樣品上的不同器件進行測試。探針臂可在X-Y-Z-R范圍內(nèi)進行四維調(diào)節(jié)，能滿足最大4英寸范圍內(nèi)全部位置的扎針測試。
? 真空腔材質(zhì)為鋁制材料，能夠有效減小外界的電磁干擾，提高測試的精準(zhǔn)度和穩(wěn)定性。
? 直流探針臂采用三同軸接頭，漏電性能好，使用4200實測漏電流小于100fA @1V。
? 獨特設(shè)計的柔性探針，將探針安裝到銅制彈片上，避免扎針過程中力量過大導(dǎo)致樣品或電極損壞。
? 可選微波探針臂，最高頻率可達到110GHz。
技術(shù)參數(shù)
型號分類：
| 型號 | 樣品座尺寸 |
| PSV-2 | 2英寸 |
| PSV-4 | 4英寸 |
參數(shù)和指標(biāo)：
| 樣品座 | |
| 樣品座類型及材質(zhì)： | 無氧銅接地樣品座 |
| 尺寸： | 2/4英寸 |
| 可選配置： | 接地樣品座、絕緣樣品座、同軸樣品座、三同軸樣品座 |
| 探針臂組件 | |
| 類型： | 直流探針臂 |
| 數(shù)量： | 4個 |
| 接頭和線纜： | 三同軸接頭 |
| 漏電流： | 100fA@1V真空環(huán)境 |
| 信號頻率： | 直流~50MHz 交流 |
| 匹配阻抗： | 50 Ω |
| 探針針尖直徑： | 100μm鈹銅探針 |
| 位移行程： | X-±35mm，Y-±12.5mm,Z-±6.5mm ，R-±10° |
| 讀數(shù)精度： | 10μm |
| 光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微鏡放大倍數(shù)： | 10~180 倍 |
| 最小分辨率： | 3μm |
| 視野范圍： | 最大可到 22mm |
| 顯微鏡工作距離： | 90~100mm |
| 顯微鏡支架升級行程： | 65mm |
| 真空腔體 | |
| 材料： | 鋁合金 |
| 腔體容積： | 4/6L |
| 外形尺寸： | 800*800*600 |
| 腔體入口尺寸： | ?124mm |
| 可視窗口尺寸： | 50mm |
| 真空度： | 5E-4 torr |
| 真空抽口： | KF25法蘭 |
| 真空腔體窗片： | 紅外絕熱材質(zhì) |
| 防輻射屏窗片： | 石英材質(zhì) |
| 充氣閥接口： | ?8 快拆接頭 |
| 預(yù)留接口： | 2個探針臂接口，2個電學(xué)接口 |
| 減振支架（選件） | |
| 尺寸（mm）：800×800×870；桌腳：有固定腳和滾輪可調(diào)換 | |
應(yīng)用領(lǐng)域
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集成電路 -
芯片 -
晶圓片
